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              HMDS涂膠機(無塵干燥箱)

              更新時間:2020-03-23

              簡要描述:

              HMDS涂膠機(無塵干燥箱)可以降低HMDS處理后的硅片接觸角,進而降低勻膠時光刻膠在硅片表面鋪展開的難度,提高光刻膠與硅片的黏附性,降低光刻膠的用量。

              HMDS涂膠機(無塵干燥箱)

              HMDS預處理系統的必要性:在半導體生產工藝中,光刻是集成電路圖形轉移重要的一個工藝環節,涂膠質量直接影響到光刻的質量,涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導致光刻圖形轉移的失敗,同時濕法腐蝕容易發生側向腐蝕。

              增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后,經烘箱加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變為疏水,其疏水基可很好地與光刻膠結合,起著偶聯劑的作用。

              HMDS涂膠機產品特點:

              ●機外殼采用冷扎鋼板噴塑處理,內膽為不銹鋼316L材料制成;加熱器均勻分布在內膽外壁四周,內膽內無任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化、防彈雙層玻璃門觀察工作室內物體一目了然。
              ●箱門閉合松緊能調節,整體成型的硅橡膠門封圈,確保箱內高真空度。
              ●微電腦智能控溫儀,具有設定,測定溫度雙數字顯示和PID自整定功能,控溫精確,可靠。
              ●智能化觸摸屏控制系統配套PLC模塊可供用戶根據不同制程條件改變程序,溫度,真空度及每一程序時間。
              ●HMDS氣體密閉式自動吸取添加設計,真空箱密封性能佳,確保HMDS氣體無外漏顧慮。整個系統采用優質材料制造,無發塵材料,適用100級光刻間凈化環境。
              ●HMDS管路加熱功能,使HMDS液體進入箱體的前端管路加熱,使轉為HMDS氣態時更易。
              ●低液報警裝置,采用紅外液體感測器,能及時靈敏給出指令(當HMDS液過低時發出報警及及時切斷工作起動功能)
              ●溫度與PLC聯動保護功能(當PLC沒有啟動程序時,加溫功能啟動不了,相反加溫功能啟動時,PLC程序不按正常走時也及時切斷工作功能,發出警報)
              ●整個箱體及HMDS氣體管路采用SUS316不銹鋼材料,整體使用無縫焊接(避免拼接導致HMDS液體腐蝕外泄對人體的傷害)

              HMDS涂膠機(無塵干燥箱)產品參數:
              ●內膽尺寸:650*650*650;450*450*450mm;300*300*300mm;
              ●載物托架:2塊
              ●室溫+10℃-250℃控溫范圍:溫度分辨率:0.1℃溫度波動度:±0.5℃
              ●真空泵:油泵或無油真空泵。真空度:133pa,
              ●加熱方式:腔體下部及兩側加溫。加熱器為外置加熱板(防止一側加熱使的HMDS液進入箱體內不能完本轉成氣態)
              ●可放2寸晶圓片或4寸晶圓片;6寸晶圓片;8寸晶圓片等。
              ●開箱溫度可以由user自行設定來降低process時間(正常工藝在50分鐘-120分鐘(按產品所需而定烘烤時間),為正常工作周期不含降溫時間(因降溫時間為常規降溫);

               上海超泓是研發,生產,銷售,服務于一體的,是中國實驗室設備的主要單位,是中國儀器儀表協會、工業自動化儀表協會會員。

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